戰(zhàn)國時(shí)期，屬趙國九原郡之西部地。

秦朝時(shí)期，仍隸九原郡。

西漢時(shí)期，屬朔方郡，隸朔方刺使統(tǒng)領(lǐng)。

東漢末年，郡縣并廢，為南匈奴盤踞。

三國至?xí)x朝初期，仍為南匈奴牧地。

永嘉以后，迭次為前趙、后趙、前秦、后秦、赫連勃勃夏屬地。

南北朝時(shí)期，地屬北魏沃野鎮(zhèn)。

隋朝初期，屬豐州。

隋大業(yè)三年（607年），改州設(shè)郡，屬五原郡，隸大同城護(hù)守。

唐朝初期，地屬豐州，隸內(nèi)道。

貞觀中，改州設(shè)郡，隸九原郡。

唐景龍二年（708年），地屬西受降城，隸天德軍節(jié)度使，并先后為燕然都護(hù)府和安北都護(hù)府統(tǒng)領(lǐng)。

宋、遼、金、夏朝時(shí)期，皆為西夏屬地。

元朝時(shí)期，滅夏，旋以地屬云內(nèi)州（下州），隸大同路。

明朝初期，地屬寧夏衛(wèi)，隸陜西。

明朝末年，即入蒙古部屬。

清朝初期，為伊克昭盟鄂爾多斯左翼后旗（達(dá)拉特旗）和右翼后旗（杭錦旗）的一部分。

清乾隆以后，置道設(shè)廳，隸歸綏道薩拉齊廳遙領(lǐng)。

清光緒二十七年（1901年），隸五原廳。

民國初期，改廳為縣，仍屬五原縣。

民國十四年（1925年），五原縣豐濟(jì)渠西側(cè)劃界，以西設(shè)臨河，置臨河設(shè)治局。

民國十八年（1929年），設(shè)立臨河縣。

民國三十一年（1942年），將臨河北部和西部地劃出，分別置狼山縣、米倉縣和陜壩市政籌備處（縣級(jí)）。

1950年，屬陜壩專區(qū)。

1954年，隸屬河套行政區(qū)。

1958年7月，隸巴彥淖爾盟。

同年，撤銷狼山縣，分別并入臨河縣和杭錦后旗。

1984年，撤銷臨河縣，設(shè)立縣級(jí)臨河市。

2004年8月26日，撤銷巴彥淖爾盟、縣級(jí)臨河市，設(shè)立巴彥淖爾市、臨河區(qū)。