秦朝時期，今烏審旗地區(qū)屬上郡轄地。

西漢時期，屬上郡奢延縣（治所今烏審旗河南鄉(xiāng)境內(nèi)）、高望縣、北部都尉（治所今旗屬嘎魯圖蘇木呼和陶勒蓋），后來又置榆林縣。

東漢時期，仍置有奢延縣（治所在今旗河南鄉(xiāng)），隸屬并州上郡。

東漢王朝為安置歸降的匈奴部眾，置上郡屬國都尉，治所龜茲（今陜西省榆林市北），在今烏審旗南部置有匈歸都尉（匈歸障）。

曹魏景元三年（262年），今旗境屬羌族政權(quán)統(tǒng)轄地。

東晉十六國期間，今旗境先后為后趙（羯石氏）、前秦（氐苻氏）、后秦（羌姚氏）等政權(quán)轄地。

夏國龍升七年（413年），匈奴鐵弗赫連勃勃發(fā)民10萬蒸土筑都城統(tǒng)萬（治所在今旗納林河鄉(xiāng)），今旗境屬夏畿內(nèi)地。

北魏始光四年（427年），將統(tǒng)萬城改為統(tǒng)萬鎮(zhèn)。

太和十一年（487年），改統(tǒng)萬鎮(zhèn)為夏州，境屬化政郡巖綠縣（治所今旗境內(nèi)）。

西魏時期，屬夏州弘化郡（治所今烏審旗境內(nèi)）。

北周時期，屬夏州歸真郡。

隋朝時期，置朔方郡巖綠縣（治所今旗納林河鄉(xiāng)境內(nèi)）。

唐朝時期，置夏州（治所舊統(tǒng)萬城），轄朔方縣（治所舊統(tǒng)萬城）。

五代十國時期，今旗境南部屬定難節(jié)度使統(tǒng)轄之夏州，北部屬契丹（遼）國。

北宋初期，夏州為北宋王朝統(tǒng)治。

遼重熙七年（1038年），黨項人李元昊即皇帝位，建立西夏政權(quán)，今旗境遂屬西夏的夏州（治所今旗境）。

元至元九年（1272年），忽必烈封其子忙哥刺為安西王。

安西王所轄蒙古四千戶駐牧于察罕腦兒（今旗境），并筑城。

至大三年（1310年），曾“立宣慰司都元帥府于察罕腦兒”。

至順元年（1330年），今烏審旗境屬陜西行省延安路轄地，在今旗境南設(shè)察罕腦兒站。

當(dāng)時“站赤”為“元制”中“以通達邊情，宣布號令”的驛站。

明朝初期，今旗境屬東勝衛(wèi)。

正德五年（1510年），屬蒙古鄂爾多斯萬戶的右翼伯速臺、烏審二部牧地。

萬歷十年（1582年），今旗境屬“襖兒都司”轄地。

清順治六年（1649年），編為鄂爾多斯右翼前旗俗稱烏審旗（當(dāng)時轄境相當(dāng)于今烏審旗的全部和陜西省榆林市、橫山縣、靖邊縣三縣市長城以北地區(qū)及伊金霍洛旗一小部分地區(qū)），下設(shè)10參領(lǐng)、42佐領(lǐng)。

乾隆元年（1736年），析旗境東部三參領(lǐng)區(qū)另置鄂爾多斯右翼前末旗（即札薩克旗）。

民國初年，旗制從清。

民國三年（1914年），烏審旗隨伊克昭盟劃歸綏遠特別區(qū)。

民國十六年（1927年），錫尼喇嘛領(lǐng)導(dǎo)的“獨貴龍”運動，一度推翻烏審旗封建王公政權(quán)，成立烏審旗政府。

民國十七年（1928年），隸屬綏遠省伊克昭盟。

民國二十三年（1934年），在中國共產(chǎn)黨領(lǐng)導(dǎo)下，今旗境南部先后成立中共烏審旗工委（曹動之任書記），將旗工委領(lǐng)導(dǎo)的游擊隊更名蒙漢騎兵游擊隊。

在解放區(qū)巴圖灣地區(qū)建立鄉(xiāng)政府。

民國二十五年（1936年）2月，曾建立烏審旗蘇維埃政府，不久根據(jù)上級指示撤銷蘇維埃政府，主要任務(wù)放在開展統(tǒng)一戰(zhàn)線方面的工作。

民國三十一年（1942年），烏審旗工委在爾林川、牌子地創(chuàng)建兩個蒙漢自治抗敵會，“實際是黨政軍合一的政權(quán)機關(guān)”。

民國三十三年（1944年）12月6日，組建烏審旗蒙漢抗敵聯(lián)合會，下轄5個分會。

民國三十六年（1947年）3月，成立烏審旗政務(wù)委員會（設(shè)主席、副主席）。

民國三十八年（1949年）3月25日，烏審旗臨時自治委員會成立（設(shè)主任）。

同年8月10日，烏審旗人民政府成立（委員會制，設(shè)主任、副主任），隸屬陜甘寧邊區(qū)伊克昭盟（今鄂爾多斯市）人民自治政務(wù)委員會。

1950年春，烏審旗隸屬綏遠省伊克昭盟人民自治政府。

1954年3月，烏審旗隸屬內(nèi)蒙古自治區(qū)伊克昭盟人民政府。

1956年12月1日，烏審旗人民政府改稱為烏審旗人民委員會。

1967年12月30日，烏審旗革命委員會成立，烏審旗人民委員會權(quán)力終止。

1980年12月21日，烏審旗人民政府成立，撤銷革命委員會。

2001年，國務(wù)院撤銷地級伊克昭盟設(shè)立地級鄂爾多斯市，烏審旗屬鄂爾多斯市管轄。