北宋太平興國七年(982)建火山軍。
治平四年(1067)置火山縣,治今文筆鎮(zhèn)東南35千米舊縣。
熙寧四年(1071)廢火山縣。
金貞元元年(1153)置河曲縣。
大定二十二年(1182)升火山軍為火山州。
大定末年改火山州為隩州,隸河?xùn)|北路。
興定四年(1220)河曲縣治徙今文筆鎮(zhèn)附近。
蒙古至元二年(1265)廢河曲縣及隩州入保德州。
明洪武二年(1369)復(fù)置河曲縣;六年(1375)廢。
十三年(1382)再置,屬太原府。
清雍正二年(1724)屬保德州。
乾隆二十七年(1762),河曲縣治徙今文筆鎮(zhèn)。
1912年屬雁門道。
1927年,直屬山西省。
1949年,屬興縣專區(qū)。
1952年,屬忻縣專區(qū)。
1958年,偏關(guān)縣及保德縣部分地域并入,屬晉北專區(qū)。
1960年,偏關(guān)、保德2縣析出。
1961年,屬忻縣專區(qū)。
1967年,屬忻縣地區(qū)。
1983年,屬忻州地區(qū)。
2000年,屬忻州市。